气体流动控制技术
气浮平台依赖气体流动产生气浮力,而气体 流动的控制是实现气浮平台的重要技术之一。 气体流动的速度、压力和方向等参数对气浮 平台的性能影响很大,所以需要对气体流动进行精细调控;
气体动力学分析技术
气体的动力学特性对气浮平台的性能和精度 有很大影响,需要通过气体动力学分析技术 来对气体的流动、压力分布、气泡形成等进 行研究和模拟,以获取更好的性能;
气浮力控制技术
气浮平台的气浮力对悬浮物体的支撑和稳定性至关重要。气浮力的大小和分布均需要进行精细控制,通过气浮力控制技术来实现对气浮力的精准调控。
最终要求气浮平台的重复定位进度能够真实达到100nm以内。
技术领域 | 电子信息,生物与新医药,航空航天,新能源与节能,先进制造与自动化 | 需求类型 | 关键技术研发 | 有效期至 | 2025-12-31 |
合作方式 | 合作开发 | 需求来源 | | 所在地区 | |