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双方均涉及芯片封装基板的介电材料优化与精密线路加工。用户需求中高频信号损耗(Df≤0.002)与该需求的介电薄膜材料结合力、信号损耗指标(≤1.0dB/inch@10GHz)直接关联;线宽精度(≤3μm)与该需求的L/S10±2μm工艺要求高度匹配。
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双方均涉及TSV工艺参数优化与可靠性提升。用户需求TSV填充空洞率≤1%与该需求的LPCVD沉积速率波动控制、抗突波能力指标(≥12A@8/20μs)直接关联,且均关注高温工作稳定性。
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