江苏省技术产权交易市场

一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具
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商品编号
202123010453727958
商品权属
自有
转让方式
技术转让
价格
¥ 40,000 元

店铺信息

浙江大学昆山创新中心
电话 132xxxx5183
本发明公开了一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具,包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板;所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔;所述弹性板上设置有弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔;所述弹性机构包括第一半岛形结构和第二半岛形结构,第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状,并分别向弹性机构平面的上下面翘起。本发明可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴,以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分,从而提高镀膜产品的品质。
本发明公开了一种用于气相沉积镀膜的掩膜夹具,包括上掩膜板、下掩膜板和被上下掩膜板夹于中间的弹性板;所述上掩膜板和下掩膜板上均设置有所需镀膜形状的掩膜开孔、第一紧固孔、第一定位孔;所述弹性板上设置有弹性机构、与上掩膜板和下掩膜板配合使用的第二紧固孔和第二定位孔;所述弹性机构包括第一半岛形结构和第二半岛形结构,第一半岛形结构和第二半岛形结构的形状为任意互补配合的几何形状,并分别向弹性机构平面的上下面翘起。本发明可以低成本地实现样品的一个需镀膜表面与掩膜板掩膜开孔边缘紧贴,以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分,从而提高镀膜产品的品质。
商品类型 专利 申请号 CN201610522031.2 所属行业 暂缺
专利类型 发明 法律状态 有权 IPC分类号 C23C14/04 ;C23C16/04
交易方式 技术转让 专利状态 已授权 授权号
技术领域 先进制造与自动化 高性能、智能化仪器仪表 有效期至 长久有效 授权日 2018-06-26
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